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PFC冷媒

R-14(CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14)

冷媒名称 R-14 冷媒名称 R-14
沸点(1atm),℃ -128.1 破坏臭氧潜能值(ODP) 0
饱和蒸气压(-150.7℃),kPa 13.33 全球变暖潜能值(GWP,100 yr) 5700
临界温度,℃ -45.6 燃烧 不可燃
临界压力,MPa 3.75 ASHRAE安全级别 A1(无毒不可燃)
主要应用
R14主要用于超低温(深冷)复叠式制冷设备中,R14也是低温配合冷媒的重要组分;四氟化碳(别名:四氟甲烷,全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
包装规格
钢瓶包装,6.5kg/瓶,27kg/瓶。

R-116(C2F6、六氟乙烷、全氟乙烷、氟利昂-116、Freon 116、PFC-116、FC-116、R116)

冷媒名称 R-116 冷媒名称 R-116
沸点(1atm),℃ -78.2 破坏臭氧潜能值(ODP) 0
饱和蒸气压(20℃),kPa 2884 全球变暖潜能值(GWP,100 yr) 11900
临界温度,℃ 19.9 燃烧 不可燃
临界压力,MPa 3.04 ASHRAE安全级别 A1(无毒不可燃)
主要应用
R116是一种特种低温冷媒,通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒;六氟乙烷(别名:全氟乙烷、氟碳116、perfluoroethane、hexafluoroethane、halocarbon 116、C2F6、FC-116)主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂。
包装规格
钢瓶包装,5kg/瓶,30kg/瓶。

R-218(C3F8、八氟丙烷,全氟丙烷、氟利昂-218、Freon 218、PFC-218、FC-218、R218)

冷媒名称 R-218 冷媒名称 R-218
沸点(1atm),℃ -36.6 破坏臭氧潜能值(ODP) 0
饱和蒸气压(20℃),kPa   全球变暖潜能值(GWP,100 yr) 8600
临界温度,℃ 71.9 燃烧 不可燃
临界压力,MPa 2.68 ASHRAE安全级别 A1(无毒不可燃)
主要应用
R218是一种特种低温冷媒,通常作为一种组分用于混配低温混合冷媒;八氟丙烷(别名:全氟丙烷, 化学式C3F8,英文名octafluoropropane、perfluoropropane、 Halocarbon 218、FC-218)主要应用于微电子工业中等离子蚀刻,以及器件表面清洗、碳同位素分离工质、医疗用气、气体绝缘等。
包装规格
钢瓶包装,5kg/瓶,35kg/瓶。

R744冷媒 冷媒压焓图

R744冷媒 冷媒温度压力对照表

R744冷媒 物质安全技术说明书(MSDS)

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